FPD Transfer Robot (for vacuum environment)

SPR-804R 견적의뢰 SPR-804R Specification 형식 SPR-804R 도번 「구성」의 장을 참조 바랍니다.(실물은 주요 명판에 기재) 외형치수 첨부도면 참조 진공조 내 로봇 표면처리 알루미늄 전해 연마 처리(Main Arm 부분) 질량 약 80kg 사용 Motor AC Servo Motor (절대치 Encoder) 축 구성 X축 : 전후축(Belt Link 기구) θ축 : 선회축 Z축 : 승강축 동작범위 X축 : 360mm x 2 + 360mm = 1080mm(Arm 길이 : 360mm, X(R)축 원점 위치 : -360mm) θ축 : 330deg Z축 : 45mm 동작시간注 1 X축 : 1.7sec/120deg, S자 지령(통신시간 등은 포함하지 않음) θ축 : 1.4sec/180deg, S자 지령(통신시간 등은 포함하지 않음) Z축 : 1.0sec/45mm, S자 지령(통신시간 등은 포함하지 않음) 허용 동작속도 / 가감속도注 1 X축 : 120deg/sec 600deg/sec², S자 지령 θ축 : 240deg/sec 1600deg/sec², S자 지령 Z축 : 125mm/sec 833mm/sec², S자 지령 가반 질량 1Arm 당 3kg 이하(Work, Hand 및 Hand bracket 포함) 허용 관성 Moment I=0.5kg · ㎡이하 (End Effector Holder 장착 중심부에서의 환산 값) 허용 Moment M=8.3N · m이하 (End Effector Holder 장착 중심부에서의 환산 값) Arm 수평 정밀도注 2 注 3 4mm p-p 이하(End Effector Holder 장착 중심부에서 360mm 위치에서 측정) Arm 궤적 정확도 ±2.0mm 이하 (End Effector Holder 장착 중심부에서 360mm 위치에서 측정) 반복 정밀도注 2 注 3 XYZ 方向 ±0.2mm (End Effector Holder 장착 중심부에서 360mm 위치에서 측정) 내진공도 1.3 10-6 Pa (진공 Seal 부분 25분℃의 경우) He Leak Rate 1.3 10-9 Pa ㎥/sec 주위 온도 +15～+70℃(진공측), +15～+35℃(대기측) 주위 온도 60% RH 이하, 비결로 주위 분위기 불화성 가스 내(진공측) 인화성, 부식성 액체/가스 등이 없을 것. 물, 약액의 비산이 없을 것.(대기측) 설치 방법 첨부 도면 및 취급 설명서(Manipulator 편)을 참조 바랍니다. [주요 유의 점] · 반드시 진공 Chamber에 설치하여 사용하십시오. · 충분한 강도가 있는 설치대에 설치하여 주십시오. · Maintenance 성 향상을 위해, 본체를 분리하지 않아도 바닥면 커버를 분리할 수 있도록 해 주십시오. · Motor Encoder 위치 기억을 위해 본체 내에 배터리가 내장되어 있습니다. 배터리 교환은 본체 측면의 커버를 분리하여 실시합니다. 배터리 교체를 위한 충분한 공간 확보 부탁드립니다. 진공 Chamber에의 장착/탈착은 Chamber 상부면에서 실시하므로, Chamber의 개구, 천장 높이, 중량물 매달기용 설비 및 장치를 충분히 확보하시길 바랍니다. 내진동 4.9m/sec² (0.5G)이하 ×	SPR-8110R 견적의뢰 SPR-8110R Specification 형식 SPR-8110R 도번 「구성」의 장을 참조 바랍니다.(실물은 주요 명판에 기재) 외형치수 첨부도면 참조 진공탱크내 RBOT 표면처리 알루미늄 백색 알루마이트 처리 질량 약 240kg (엔드이펙터 · 홀더 미포함) 사용 Motor AC Servo Motor (Absolute Encoder 사양) 축 구성 X(R)축 : 전후축(벨트 링크 기구) θ축 : 회전축 Z축 : 상승축 동작범위 X(R)축 : 500mm x 2 + 500mm = 1755mm (ARM 길이 : 500mm) θ축 : 330deg Z축 : 80mm 동작시간注 1,5 득수 사양(허용 모멘트가 표준 사양을 초과하는 경우) X(R)축 : 4.10sec/110deg(통신시간 등은 포함하지 않음) θ축 : 4.40sec/330deg(통신시간 등은 포함하지 않음) Z축 : 1.76sec/80mm(통신시간 등은 포함하지 않음) (X축 Extend 시 Z축 50mm 동작 시간 = 2.5sec) 표준 사양(허용 모멘트가 표준 사양 이내인 경우) X(R)축 : 3.42sec/110deg(통신시간 등은 포함하지 않습니다.) θ축 : 3.65sec/330deg(통신시간 등은 포함하지 않습니다.) Z축 : 1.76sec/80mm(통신시간 등은 포함하지 않습니다.) (X축 Extend 시 Z축 50mm 동작 시간 = 2.5sec) 가반 질량 15kg이하(엔드이펙터 · 홀더 포함) 허용 관성 모멘트 I=6.5kg · ㎡이하 (엔드 이펙터 장착터 플랜지 중심부에서의 환산 값) 허용 모멘트 특수 사양(허용 모멘트가 표준사양을 넘어서는 경우) M=78.4N · m이하 (엔드 이펙터 장착 플랜지 중심부에서의 환산 값) 표준사양 M=67.4N · m (엔드이펙터홀더 장착 중심부에서의 환산치) Arm 수평 정밀도注 2,3,4 특수사양(허용 모멘트가 표준사양을 넘어서는 경우) 9.0mm p-p 이하(엔드이펙터 장착 플랜지 중심으로부터 1000mm의 위치에서 측정) 표준사양(허용 모멘트가 표준사양 이내인 경우) 6.0mm p-p 이하(엔드이펙터 장착 플랜지 중심으로부터 1000mm의 위치에서 측정) Arm 궤적 정확도注 2,3,4 귀사용 특수 사양(허용 모멘트가 표준사양을 넘어서는 경우) 9.0mm p-p이하(엔드이펙터 장착 플랜지 중심으로부터 1000mm의 위치에서 측정) 표준사양(허용 모멘트가 표준사양 이내인 경우) 6.0mm p-p 이하(엔드이펙터 장착 플랜지 중심으로부터 1000mm의 위치에서 측정) 반복 정도注 2,3,4 XYZ 방향 ±0.3mm 이하 (엔드이펙터 취부 플랜지 중심에서 1000mm 위치에서 측정) XYZ 방향 ±0.2mm 이하 (엔드이펙터 취부 플랜지 중심에서 500mm 위치에서 측정) 내진공도 1.3 x 10-6 Pa (진공 씰부 25℃의 경우) 헬륨 Leak Rate 1.3 10-12 Pa ㎥/sec 주위 온도 +15～+70℃(진공씰부), +15～+35℃(대기측) 주위 습도 60% RH 이하, 비결로 주위환경 불화성 Gas 내(진공측) 인화성, 부식성 액체 · 가스 등이 없을 것. 물, 약액의 비산이 없을 것.(대기측) ×	SPR-8565 견적의뢰 SPR-8565 Specification 형식 SPR-8565-XG0161 도번 「구성」의 장을 참조 바랍니다.(실물은 주요 명판에 기재) 외형치수 첨부도면을 참조 부탁드립니다. 질량 약 900kg 사용모터 AC 서보모터(절대치 엔코더 사양) 축 구성 X1 (R1)축 : 좌 Arm X2 (R2)축 : 우 Arm θ축 : 선회축 Z축 : 승강축 동작범위 X1 (R1)축 : 1730.6mm (ARM 길이 : 500mm) X2 (R2)축 : 1730.6mm (ARM 길이 : 500mm) θ축 : 330deg Z축 : 150mm 동작시간注 1 X1 (R1) 축 : 2.5sec/1730.6mm, S자 지령(통신시간 미포함) X2 (R2) 축 : 2.5sec/1730.6mm, S자 지령(통신시간 미포함) θ축 : 3.1sec/180deg, S자 지령(통신시간 미포함) Z축 : 2.8sec/150mm, S자 지령(통신시간 미포함) 가반 질량 1Arm당 35kg이하(Work · End Effector · End Effector Holder 포함) 허용 관성 모멘트 I=5.7kg · ㎡이하 (End effector Holder 최부 플랜지 중심부에서의 환산치) 허용 모멘트 M=147N · m이하 (End effector Holder 취부 플랜지 중심부에서의 환산치) Arm 수평정도注 2, 注 3, 注 4 10mm p-p 이하(End effector Holder 취부 플랜지 중심부에서 1300mm의 위치에서 측정) Arm 궤적정도注 2, 注 3, 注 4 ±8mm 이하 (End effector Holder 취부 플랜지 중심부에서 1300mm의 위치에서 측정) 반복 정도注 2, 注 3, 注 4 XYZ 방향 ±0.5mm 이하 (End effector Holder 취부 플랜지 중심에서 1300mm 위치에서 측정) XYZ 방향 ±0.3mm 이하 (End effector Holder 취부 플랜지 중심부에서 위치에서 측정) 내진공도 1.3 x 10 - 6 Pa (진공 Seal부 25℃의 경우) 헬륨 Leak Rate 1.3 10 - 9 Pa ㎥/sec 진공 Grease GRM60N (NOK Kluber) 주위 온도 +15～+70℃(진공 Seal부), +15～+35℃(대기측) 주위 습도 60% RH 이하, 비결로 주위 분위기 불화성 가스내(진공측) 인화성, 부식성 액체 · 가스 등이 없을 것. 물, 약액의 비산이 없을 것.(대기측) 설치 방법 첨부 도면 및 취급 설명서(Manipulator 편)을 참조 바랍니다. [주요 유의 점] · 반드시 진공 챔버에 설치하여 사용하십시오. · 충분한 강도가 있는 설치대에 설치하여 주십시오. · Maintenance 성 향상을 위해, 본체를 분리하지 않아도 바닥커버 · 측면커버가 분리될 수 있도록 해 주십시오.(바닥면 : 200mm, 측면 : 450mm 이상) · 교환시를 고려하여 설치해 주십시오. 내진동 4.9m/sec2 (0.5G)이하 　 주의 注 1 동작시간은 Servo Dirver에 동작지령을 전달하는 시간입니다. 실제의 동작시간에는 내부처리시간, 통신시간 및 상위제어장치(귀사측)의 처리시간등이 가산됩니다. 또한 실제의 동작속도/가감속도는 동작, Work의 미끄러짐등을 고려하여 설정 부탁드립니다. 注 2 허용 동작속도/가감속도, 가반질량의 지시를 만족하지 않는 경우, 반복정도등의 기본성능은 보증하기 어렵습니다. ×	SPR-8566 견적의뢰 SPR-8566 Specification 형식 SPR-8566-XG0143 SPR-8566-XG0163 도번 「구성」의 장을 참조 바랍니다.(실물은 주요 명판에 기재) 외형치수 첨부도면을 참조해 주십시오. 질량 약 900kg 사용모터 AC 서보모터(절대치 엔코더 사양) 축 구성 X1 (R1)축 : 좌 Arm X2 (R2)축 : 우 Arm θ축 : 선회축 Z축 : 승강축 동작범위 X1 (R1)축 : 2621.4mm (ARM 길이 : 760mm) X2 (R2)축 : 2621.4mm (ARM 길이 : 760mm) θ축 : 330deg Z축 : 150mm 注 5 동작시간注 1 X1 (R1) 축 : 2.2sec/2621.4mm, S자 지령(통신시간 등은 미포함) X2 (R2) 축 : 2.2sec/2621.4mm, S자 지령(통신시간 등은 미포함) θ축 : 3.1sec/180deg, S자 지령(통신시간 등은 미포함) Z축 : 2.8sec/150mm, S자 지령(통신시간 등은 미포함) 가반 질량 1Arm당 50kg이하(엔드이펙터 · 홀더 포함) 허용 관성 모멘트 I=16.8kg · ㎡이하 (엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서의 환산치) 허용 모멘트 M=164.8N · m이하 (엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서의 환산치) Arm 수평정도注 2, 3, 4, 5 12mm p-p 이하(엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서 1960mm의 위치에서 측정) Arm 궤적정도注 2, 3, 4 8mm ± 이하 (엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서 1960mm의 위치에서 측정 반복 정도注 2, 3, 4 XYZ 방향 ±0.5mm 이하 (엔드이펙터 취부 플랜지 중심에서 1960mm 위치에서 측정) XYZ 방향 ±0.3mm 이하 (엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서 위치에서 측정) 내진공도 1.3 x 10-6 Pa (진공 Seal부 25℃의 경우) 헬륨 Leak Rate 1.0 x 10-9 Pa ㎥/sec 진공센서 케이블注 6 좌우 Arm내에 센서용 케이블 부속 대기측 커넥터 패널부 커넥터 · x1 축 : AWG23 (8本) : SRCN2A16-10P · X2 축 : AWG23 (8本) : SRCN2A16-10P 진공측 Arm내 커넥터 · X1 축 : EGG.1B.308.CYM · X2 축 : EGG.1B.308.CYM 좌우 Arm내에 센서용 케이블 부속 대기측 커넥터 패널부 커넥터 · x1 축 : AWG23 (8本) : SRCN2A16-10P · X2 축 : AWG23 (8本) : SRCN2A16-10P 진공측 Arm내 커넥터 · 없음 · Arm 선단부에서 케이블(약 1000mm) 진공조내 베어링등에 사용하는 그리스 KLUBERTEMP GRM60N(NOK Kluber 제) 주위 온도 +15～+70℃(진공 Seal부), +15～+35℃(대기측) 주위 습도 60% RH 이하, 비결로 주위 환경 불화성 가스내(진공측) 인화성, 부식성 액체 · 가스 등이 없을 것. 물, 약액의 비산이 없을 것.(대기측) 설치 방법 첨부 도면 및 취급 설명서(매니플레이터 편)을 참조 바랍니다. [주요 유의 점] · 반드시 진공 챔버에 설치하여 사용하십시오. · 충분한 강도가 있는 설치대에 설치하여 주십시오. · Maintenance 성 향상을 위해, 본체를 분리하지 않아도 바닥커버 · 측면커버가 분리될 수 있도록 해 주십시오.(바닥면 : 200mm, 측면 : 450mm 이상) · 교환시를 고려하여 설치해 주십시오. 내진동 4.9m/sec2 (0.5G)이하 　 ×
SPR-8567 견적의뢰 SPR-8567 Specification 형식 SPR-8567 도번 「구성」의 장을 참조 바랍니다.(실물은 주요 명판에 기재) 외형치수 첨부도면을 참조해 주십시오. 질량 약 2400kg (핸드홀더 미포함) 슬라이드 부 약 900kg, Z 드라이브유닛 부 약 1500kg 사용모터 AC 서보모터(절대치 엔코더 사양) 축 구성 X1 (2)축 : 전후축, θ축 : 선회축, Z축 : 승강축 동작범위 X1 (2)축 : 3860mm θ축 : 340deg Z축 : 600mm 동작속도注 1 X1 (2) 축 : 2.74sec/3860mm, S자 지령(통신시간 미포함) θ축 : 3.43sec/180deg, S자 지령(통신시간 미포함) Z축 : 2.4sec/600mm, S자 지령(통신시간 미포함) 가반 질량 X1축 : 100kg 이하 (핸드홀더 포함) X2축 : 110kg 이하 (핸드홀더 포함) 허용 모멘트 800N · m이하 (핸드홀더 취부 플랜지 중심부에서의 환산치) Arm 수평정도注 2, 3, 4 10mm p-p 이하(처짐 보정기능 있음) 핸드선단위치에서 측정 Arm 궤적정도注 2, 3, 4 ±4mm 이하 핸드 선단위치에서 측정 ※ 출하검사에서 실측지를 제출합니다.(X1, X2축의 ±치) 반복 정도注 2, 3, 4 X축 방향 ±0.5mm 이하, θ축방향 ±0.5mm이하, Z축방향 ±0.5mm 이하 핸드 선단위치에서 측정 ※ 출하검사에서 실측지를 제출합니다.(X1축, X2축의축 3 (X, Y, Z 방향)의 각최대치) 클린도 Class10 (ISO Class 4) 내진공압 1.33 x 10 - 5 Pa 헬륨 Leak Rate 1.0 x 10 - 9 Pa ㎥/sec 진공조내 사용 그리스 Nye Clean 5097R(Nye Lubricants 社製) Klubertemp GR M 60(NOK 社製) 주위 온도 X축 : +15～+60℃(진공챔버내 사용의 경우) θ · Z축 : +15～+35℃ ※ 온도변화에 의한 티칭포인트 변화는 보증외로 합니다. 주위 습도 60% RH 이하, 비결로 주위 분위기 불화성 Gas내(진공측) 인화성, 부식성 액체 · Gas 등이 없을 것. 물, 약액의 비산이 없을 것.(대기측) 설치 방법 첨부 도면 및 취급 설명서(Manipulator 편)을 참조 바랍니다. [주요 유의 점] · 반드시 진공 챔버에 설치하여 사용하십시오. · 충분한 강도가 있는 설치대에 설치하여 주십시오. · 설치대에는 고정조정기구 및 수평조정기구를 설치해 주십시오. · Maintenance 성 향상을 위해, 본체를 분리하지 않아도 측면커버가 탈착 가능하도록 해주십시오. · 교환시를 고려하여 설치해 주십시오. 내진동 4.9m/sec2 (0.5G)이하 　 ×	SPR-8571 견적의뢰 SPR-8571 Specification 형식 SPR-8571 도번 「구성」의 장을 참조 바랍니다.(실물은 주요 명판에 기재) 외형치수 첨부도면을 참조해 주십시오. 질량 약2200kg 사용모터 AC서보 모터 （절대치 엔코더） 축 구성 X1（R1）축：좌Arm X2（R2）축：우Arm θ축：선회축 Z축：승강축 동작범위 X1（R1）축： 2621.4mm （Arm 길이：760mm） X2（R2）축： 2621.4mm （ Arm 길이：760mm） θ축： 330deg Z축： 400mm注 5 동작시간注 1 X1（R1）축： 2.2sec/2621.4mm、S자 지령 （통신신호등은 미포함） X2（R2）축： 2.2sec/2621.4mm、S자 지령 （통신신호등은 미포함） θ축： 3.1sec/180deg、S자 지령 （통신신호등은 미포함） Z축：2.2sec/400mm、S자 지령 （통신신호등은 미포함） 가반 질량 １Arm당50kg이하 （엔드이펙터·홀더 포함） 허용관성 모멘트 I=16.8kg·㎡ （엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서의 환산치） 허용 모멘트 M=164.8N·m이하 （엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서의 환산치） Arm 수평정도注 2, 3, 4, 5 10mm p-p 이하 （엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서1960mm의 위치에서 측정） Arm 궤적정도注 2, 3, 4 ±8mm 이하 （엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서 1960mm의 위치에서 측정） 반복 정도注 2, 3, 4 XYZ방향±0.5mm이하 （엔드이펙터 취부 플랜지 중심부에서1960mm의 위치에서 측정 ） XYZ방향±0.3mm이하 （엔드이펙터 취부플랜지 중심부의 위치에서 측정） 내진공도 1.3×10-3 Pa　（진공Seal부 25℃의 경우） 헬륨 Leak Rate 1.3×10-9 Pa·㎥/sec 진공 센서 케이블注 6 좌우Arm내에 센서용 케이블 부속 X1축：AWG23　(8개） ,　【Connector】　SRCN2A16-10P대기측 EGG.1B.308.CYM진공측 X2축：AWG23　(8개） ,　【Connector】　SRCN2A16-10P대기측 EGG.1B.308.CYM진공측 진공 Chamber·Bearing 등에 사용하는 Grease Ｘ축Bearing　KLUBERTEMP GRM60（NOK Klueber製） θ축 자성유체　ZLVP(NIPPECO製) ※진공Grease의 윤활성능 등의 기계적인 특성은 당사에서 보증하지만, Outgas가 프로세스에 미치는 영향은 보증외로 합니다. 주위 온도 ＋15～＋70℃ （진공Seal부）、＋15～＋35℃ （대기측） 주위 습도 60％RH이하、비결로 주위환경 불활성가스 내 （진공측） 인화성、부식성의 약액·가스등이 없을 것. 물, 약액의 비산이 없을 것. （대기측） 설치 방법 첨부 도면 및 취급 설명서(Manipulator 편)을 참조 바랍니다. [주요 유의 점] · 반드시 진공 챔버에 설치하여 사용하십시오. · 충분한 강도가 있는 설치대에 설치하여 주십시오. · Maintenance성 향상을 위해 본체를 분리하지 않아도 밑면Cover·측면Cover를   탈착 가능하도록 해주세요.（밑면 ：200mm、측면 ：450mm이상 띄워 주세요.） · 교환시를 고려하여 설치해 주십시오. 내진동 4.9m/sec2 (0.5G)이하 　 ×